徹底瘋狂！臺積電首次自曝3nm工藝
天字一號代工廠臺積電這幾年在新工藝方面極為激進，正在大規模量產10nm、加速推進7/5nm，現在還首次曝光了全新的3nm。
到了3nm這個地步，估計良品率是一大難關。
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快科技
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科客點評：到了3nm這個地步，估計良品率是一大難關。
天字一號代工廠臺積電這幾年在新工藝方面極為激進，正在大規模量產10nm、加速推進7/5nm，現在還首次曝光了全新的3nm，已經接近半導體工藝的物理極限。臺積電的大本營一直在臺灣：10nm位于中科廠Fab 15五到六期；7nm位于七到九期，2018年量產；5nm則位于南科廠Fab 14九期，2019年下半年量產。
不過到了3nm，臺積電正考慮赴美投資建廠，投資額高達5000億臺幣，主要原因是南科方面從提出投資方案到通過環評審核，至少需要5年時間，而且空氣質量、電力供應都是問題。
另外臺灣對于大陸的工藝輸出也一直是N-1政策，即最高輸出第二新的工藝。如果臺積電轉到美國投資，對于大陸方面肯定也會加強投資和輸出力度。
至于3nm工藝本身，由于還處于前期研究階段，臺積電沒什么可透露的，只說正在與設備廠商、材料供應商共同研究技術途徑，暫定2022年左右量產。
按照行業規劃，極紫外光刻到時候應該可以上馬了，450mm大晶圓則很難說，最近一直沒什么進展。
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